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微机电系统工程专业开设课程有微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。

二、微机电系统工程专业考研方向
微机电系统工程专业考研方向车辆工程、集成电路工程、精密仪器及机械、机械工程
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